SECM掃描探針顯微鏡是一套多功能的SPM掃描探針顯微鏡系統(tǒng)，還可以集成SICM，SECCM等多功能。電化學(xué)/電生理掃描探針顯微鏡SECM具備掃描電化學(xué)顯微鏡及掃描離子電導(dǎo)顯微鏡成像（SECM/ SICM）與可定制模塊化的光學(xué)顯微鏡成像同步聯(lián)用的系統(tǒng)。
SECM掃描探針顯微鏡系統(tǒng)組件與功能介紹：
1、機械掃描四軸納米定位系統(tǒng)(模塊)：
1）X/Y/Z 三軸掃描探針定位系統(tǒng)：閉環(huán)電路控制的直流伺服XYZ馬達(dá)臺疊加Z-軸壓電驅(qū)動系統(tǒng)，XYZ馬達(dá)臺具備掃描分辨率≤10nm，馬達(dá)掃描軸大動態(tài)掃描范圍不小于X=100mm, Y=75mm, Z=50mm；Z-軸配備的納米分辨率壓電驅(qū)動系統(tǒng)具備步進(jìn)分辨率≤1.5納米。掃描系統(tǒng)具備探針與樣品共掃描模式，Z-軸可快速完成長距離下的全自動探針逼近過程。
2）系統(tǒng)具備X/Y/Z/F 四維亞微米便攜式獨立遙控桿，具有慢速和長距離/快速雙模式。
3） XY掃描軸可擴展移動定位范圍，具備手動調(diào)節(jié)旋鈕可額外擴展 X/Y定位范圍至不少于±12.5 mm。
2、系統(tǒng)無縫集成的微觀光學(xué)顯微鏡成像系統(tǒng)（模塊）：
1）核心光學(xué)組件倒置集成于XY樣品臺的正下方，光學(xué)成像對焦由電動馬達(dá)自動聚焦驅(qū)動器（分辨率≤5.5nm，對焦移動范圍≥5厘米），光學(xué)對焦位置可進(jìn)行數(shù)字式調(diào)節(jié)和記錄。
2）?光學(xué)成像光路具備模塊化顯微鏡光路設(shè)計，核心組件具備臨界照明的落射熒光光學(xué)元件，光導(dǎo)耦合器，及用戶可自由調(diào)節(jié)的濾光片立方體和用于連接像機的C型接口適配器。
3）?倒置顯微鏡須配備6孔位物鏡盤，系統(tǒng)配置的物鏡須具有長工作距離的熒光級物鏡，放大倍數(shù)至少為4x, 20x和40x。
4）被觀測樣品的光學(xué)照片及視頻可由系統(tǒng)相機進(jìn)行實時采集，激發(fā)控制模式支持預(yù)設(shè)、內(nèi)部同步、曝光激發(fā)、連續(xù)曝光模式。
5）光學(xué)系統(tǒng)兼容升級接入無縫集成的LED熒光激發(fā)光源系統(tǒng)，熒光濾波片組及超高速熒光CCD相機。
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